CIVILICA We Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

بررسی ویژگی های میکروساختاری لایه نازک Cu با تغییر دمای زیرلایه بر مبنای نظریه فرکتال

اعتبار موردنیاز : ۰ | تعداد صفحات: ۴ | تعداد نمایش خلاصه: ۲۷۵ | نظرات: ۰
سال انتشار: ۱۳۹۰
کد COI مقاله: THINFILM01_009
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۵۱۱ کیلوبایت
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

متن کامل این مقاله منتشر نشده و درپایگاه سیویلیکا موجود نمی باشد.

منبع مقالات سیویلیکا دبیرخانه کنفرانسها و مجلات می باشد. برخی از دبیرخانه ها اقدام به انتشار اصل مقاله نمی نمایند. به منظور تکمیل بانک مقالات موجود، چکیده این مقالات در سایت درج می شوند ولی به دلیل عدم انتشار اصل مقاله، امکان ارائه آن وجود ندارد.

خرید و دانلود فایل مقاله

متن کامل (فول تکست) این مقاله منتشر نشده و یا در سایت موجود نیست و امکان خرید آن فراهم نمی باشد

مشخصات نویسندگان مقاله بررسی ویژگی های میکروساختاری لایه نازک Cu با تغییر دمای زیرلایه بر مبنای نظریه فرکتال

الهام جعفری خمسه - پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی هسته ای ، کرج
پروین بلاش آبادی - پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی هسته ای ، کرج
ضرغام اسداللهی - پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی هسته ای ، کرج
  سیما عشقی - گروه مواد دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران

چکیده مقاله:

لایه نازک مس (Cu) با روش کند و پاش مغناطیسی در محدوده دمای زیرلایه 523 - 300 درجه کلوین بر روی زیرلایه شیشه انباشت شد. تاثیر تغییر دمای زیرلایه بر ویژگی های میکرو ساختاری لایه نازک مس مورد مطالعه قرار گرفت. توپوگرافی سطح لایه توسط میکروسکوپ الکترونی عبوری ( SEM ) مورد بررسی قرار گرفت. پارامترهای بررسی توگرافی سطح با استفاده از نظریه فرکتال بدست آمدند. روش شمارش جعبه دیفرانسیلی برای محاسبه بعد فرکتالی مورد استفاده قرار گرفت. برای بررسی بهتر زبری سطح فیلم ها از تصاویر دو و سه بعدی تصاویر SEM استفاده شد.

کلیدواژه‌ها:

میکروسکوپ الکترونی عبوری، ویژگی های میکروساختاری، لایه نازک، فرکتال

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-THINFILM01-THINFILM01_009.html
کد COI مقاله: THINFILM01_009

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
جعفری خمسه, الهام؛ پروین بلاش آبادی؛ ضرغام اسداللهی و سیما عشقی، ۱۳۹۰، بررسی ویژگی های میکروساختاری لایه نازک Cu با تغییر دمای زیرلایه بر مبنای نظریه فرکتال، اولین کنفرانس ملی نوآوری ها در پردازش لایه های نازک و مشخصه های آنها، کرمان، مرکز بین المللی علوم و تکنولوژی پیشرفته و علوم محیطی، https://www.civilica.com/Paper-THINFILM01-THINFILM01_009.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (جعفری خمسه, الهام؛ پروین بلاش آبادی؛ ضرغام اسداللهی و سیما عشقی، ۱۳۹۰)
برای بار دوم به بعد: (جعفری خمسه؛ بلاش آبادی؛ اسداللهی و عشقی، ۱۳۹۰)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مدیریت اطلاعات پژوهشی

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

مقالات پیشنهادی مرتبط

شبکه تبلیغات علمی کشور

به اشتراک گذاری این صفحه

اطلاعات بیشتر درباره COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.