مطالعه وابستگی آهنگ انباشت و توان بازتابندگی لایه های نازک آلومینیوم انباشت شده به روش کندوپاش مگنترون نسبت به پارامترهای انباشت لایه

در این کار تجربی لایه های نازک آلومینیوم زیرلایه های شیشه ای به روش کندوپاش مگنترون در شرایط متنوع انباشت گردیده اند. با بهره گیری از دستگاه اسپکتروفوتومتر دو پرتوی با گستره ی طول موجی 2500-200 نانو متر، توان بازتابندگی سطوح لایه های مذکور برای آهنگ های متنوع انباشت (0.3 تا 1.5 نانومتر )و ضخامت های متفاوت لایه های نازک (25 تا 100 نانومتر) مورد مطالعه قرار گرفته و تاثیر عوامل انباشت روی آهنگ لایه نشانی بررسی شده است.