تحلیل فرکانس طبیعی میکرو ورق دایرهای تحت تحریک الکترواستاتیک بر طبق نظریه ی کوپل تنش اصلاح شده

مطالعه دقیق میکرو ورق هایی که از طریق میدان الکترواستاتیک راه اندازی می شوند، مستلزم در نظر گرفتنتیوری های وابسته به ابعاد می باشد. در این پژوهش با تکیه بر تیوری کوپل تنش اصلاحی یک مدل جامع برایشبیه سازی رفتار دینامیکی وپیدا کردن فرکانس طبیعی میکرو ورق معرفی می گردد. همچنین مبحث ناپایداریدر این میکرو ورق مورد بررسی قرار گرفته است. این میکرو ورق به صورت یک ورق دایره ای کاملا متقارن و دارایشرط مرزی ثابت (clamp) در نظر گرفته شده است. در مدلسازی برای پیدا کردن معادلات حرکت دینامیکیمیکرو ورق، نظریه ی کوپل تنش اصلاح شده و اصل همیلتون به کار برده شده است. در پژوهش حاضر ضعفتیوری کلاسیک در تحلیل سازه های میکرو بررسی می گردد و همچنین نتایج حاصل با داده های بدست آمده ازتیوری غیرکلاسیک مقایسه خواهد شد. در نهایت، تغییرات فرکانس طبیعی بر حسب ولتاژ ورودی و همچنینفاصله ی هوایی اولیه میان میکرو ورق و الکترود مربوطه نیز بررسی خواهد شد.

کلیدواژه ها:

میکروالکترومکانیک ، کوپل تنش اصلاح شده ، فرکانس طبیعی ، پارامتر مقیاس طول ، ناپایداری