CIVILICA We Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

طراحی و ساخت حسگرفشار مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی نوری با ساختار تداخل سنجی

اعتبار موردنیاز : ۱ | تعداد صفحات: ۱۰ | تعداد نمایش خلاصه: ۱۴ | نظرات: ۰
سال انتشار: ۱۳۹۸
کد COI مقاله: UTCONF03_193
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۶۳۴.۱۸ کیلوبایت (فایل این مقاله در ۱۰ صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اگر در مجموعه سیویلیکا عضو نیستید، به راحتی می توانید از طریق فرم روبرو اصل این مقاله را خریداری نمایید.
با عضویت در سیویلیکا می توانید اصل مقالات را با حداقل ۳۳ درصد تخفیف (دو سوم قیمت خرید تک مقاله) دریافت نمایید. برای عضویت در سیویلیکا به صفحه ثبت نام مراجعه نمایید. در صورتی که دارای نام کاربری در مجموعه سیویلیکا هستید، ابتدا از قسمت بالای صفحه با نام کاربری خود وارد شده و سپس به این صفحه مراجعه نمایید.
لطفا قبل از اقدام به خرید اینترنتی این مقاله، ابتدا تعداد صفحات مقاله را در بالای این صفحه کنترل نمایید.
برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای ۱۰ صفحه است در اختیار داشته باشید.

قیمت این مقاله : ۳,۰۰۰ تومان

آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله طراحی و ساخت حسگرفشار مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی نوری با ساختار تداخل سنجی

  آرین بخشی زاده - فارغ التحصیل دانشگاه صنعتی سهند
  حبیب بدری قویفکر - عضو هیات علمی دانشگاه صنعتی سهند

چکیده مقاله:

در این مقاله یک حسگرفشار مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی نوری با ساختار تداخل سنجی طراحی و شبیه سازی شده است. فرآیند ساختی که در این نوع حسگر فشار ارائه می گردد، مطابق تکنولوژی دانشگاه Twente هلند و حاوی دیافراگم سیلیکونی با ساختار لایه های براگ و آینه های دی الکتریک، از جنس نیترید سیلیکون می باشد. همچنین، یک تقسیم کننده و ترکیب کننده Y شکل وظیفه انتقال نور به ساختار حسگر و همچنین دریافت نور بازتابی و رساندن آن به آنالیزگر طیفی را دارد. سیستم کاری حسگر بدین شکل است که نور لیزری در بازه ای با مرکزیت 1512 نانومتر از طریق یک تقسیم کننده Y شکل به داخل حسگر وارد می شود. اعمال فشار سبب کشیده شدن لایه های براگ و شیفت طول موج بازتابی می گردد. طول موج بازتابی شیفت یافته دوباره از طری تقسیم کننده Y شکل به داخل آنالیزگر طیفی وارد می شود. خروجی حسگر از طریق بررسی داده های آنالیزگر طیفی بدست می آید.

کلیدواژه‌ها:

سیستم های میکروالکترومکانیکی، حسگر فشار، ساختار لایه های براگ و آینه های دی الکتریک، آنالیزگر طیفی

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-UTCONF03-UTCONF03_193.html
کد COI مقاله: UTCONF03_193

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
بخشی زاده, آرین و حبیب بدری قویفکر، ۱۳۹۸، طراحی و ساخت حسگرفشار مبتنی بر سیستم های میکرو الکترومکانیکی نوری با ساختار تداخل سنجی، سومین همایش ملی دانش و فناوری مهندسی برق، کامپیوتر و مکانیک ایران، تهران، موسسه برگزار کننده همایش های توسعه محور دانش و فناوری سام ایرانیان، https://www.civilica.com/Paper-UTCONF03-UTCONF03_193.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (بخشی زاده, آرین و حبیب بدری قویفکر، ۱۳۹۸)
برای بار دوم به بعد: (بخشی زاده و بدری قویفکر، ۱۳۹۸)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

علم سنجی و رتبه بندی مقاله

مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
نوع مرکز: دانشگاه دولتی
تعداد مقالات: ۳۳۲۲
در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

مدیریت اطلاعات پژوهشی

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

مقالات پیشنهادی مرتبط

مقالات مرتبط جدید

شبکه تبلیغات علمی کشور

به اشتراک گذاری این صفحه

اطلاعات بیشتر درباره COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.