اسماعیل احمدی - دانشکده فیزیک ، دانشگاه علم و صنعت ایران ، تهران
عبدالمحمد قلمبر دزفولی - جهاد دانشگاهی واحد دانشگاه شهید بهشتی ، تهران

در تولید ترکیبات نانو با استفاده از فرایند یون نشانی ، کنترل شکل توزیع یونهای نشانده شده در سطح جامد به دلیل حساس بودن خواص سطحی اینگونه مواد به ناخالصی ایجاد شده در خلال فرایند یاد شده ، از اهمیت فوق العادهای برخوردار است . در این مقاله با معرفی دمای پرتو یونی به عنوان یک مشخصه مهم برای کنترل اندازه توزیع نشانده شده ، پرتوهای یونی سرد به عنوان یک روش جایگزین مناسب برای روشهای متداول مانند پرتوهای یونی متمرکز شده FIB پیشنهاد شده است . برای شبیه سازی تابش پرتوهای یونی با دماهای مختلف از نرم افزار SIMION استفاده شده است شده و در مرحله بعد پس از آنکه پرتوهای با دماهای مختلف شبیه سازی شد ، این پرتوها با سطح یک جامد اندرکنش میکنند . نرم افزار Srim برای تجزیه و تحلیل چگونگی توزیع یونها در داخل سطح جامد بکار گرفته میشود .