CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

ساخت سوِراخهای نانو ساختار دو سر باز به کمک نانولوله های کربنی بر روی غشای نازک شده بر روی زیر لایه سیلیسیوم (100)

عنوان مقاله: ساخت سوِراخهای نانو ساختار دو سر باز به کمک نانولوله های کربنی بر روی غشای نازک شده بر روی زیر لایه سیلیسیوم (100)
شناسه ملی مقاله: IPC85_138
منتشر شده در کنفرانس فیزیک ایران 1385 در سال 1385
مشخصات نویسندگان مقاله:

یاسر عبدی - دانشکده فیزیک ، پردیس علوم ، دانشگاه تهران ، آزمایشگاه لایه نازک، دان
شمس الدین مهاجرزاده - آزمایشگاه لایه نازک، دانشکدهمهندسی برق و کامپیوتر ، پردیس فنی ، دانش
عزت اله ارضی - دانشکده فیزیک ، پردیس علوم ، دانشگاه تهران

خلاصه مقاله:
نانولوله های عمودی بر روی غشای کوارتز به روش DC-PECVD رشد داده شده اند . برای ساخت این غشاء ، ویفر سیلیسیوم با جهت بلوری (100) به صورت نا همسانگرد در محلول 8 مولار KOH زدایش شده است . مخلوطی از گازهای هیدروژن و استیلن برای رشد نانولوله های کربنی استفاده شده و لایه ای از نیکل به عنوان کاتالیست بکار رفته است . نانولوله های حاصل با لایه نشانی اکسید تیتانیوم به روش تبخیر شیمیایی و در فشار اتمسفر، پوشانده شده اند . بعد ازمرحله صیقل دادن و سوزاندن نمونه و پس از برداشتن غشاء ، نانو ساختارهایی با دو سر باز، به دست آمده است . تحلیل SEM برای مطالعة این ساختارهای نانومتری مورد استفاده قرار رفته است .

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/24783/