مهرداد وحدتی - استادیار گروه ساخت و تولید دانشکده مکانیک دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طو
محمودرضا خدادادی - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مکانیک دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی

رشد صنایع باعث ایجاد تکنولوژیهای نو و سیستم های دقیق شده است. ساخت تجهیزات بسیار دقیق و کوچک مثل میکروروباتها، هارد دیسک، آینه های چند وجهی و ... نیازمند بکارگیری تجهیزات و تکنولوژیهای بسیار پیشرفته می باشد. یکی از این روشها که در زمینه ماشینکاری های مکانیکی می باشد، ماشینکاری نانومتریک نامیده می شود. تجهیزات مربوط به این فرایند تحت عنوان ماشینهای فوق دقیق نامیده می شد. کله گی و میزانی ماشین ها که حرکت دورانی و خطی را انجام می دهند، روی سیال هواشناور می باشند. در این تحقیق یک مدل آزمایشگاهی از میز ماشین UPM طراحی و ساخته شده است. سیستم های لغزشی در ماشین های ابزار هر قدر دقیق طراحی شده باشند، هنگام حرکت دارای خطا هستند، بدین لحاظ در این تحقیق خطاهای حرکت خطی و زاویه ای میز، تحت شرایط مختلف اندازه گیری شده و عوامل موثر بر این خطاها تعیین شده اند.

ماشینکاری نانومتریک، ماشین ابزار فوق دقیق، میز هوایی، یاتاقان آیرواستاتیک، خطای حرکتی، خطای زاویه ای