بررسی خواص مقاومت ویژه سطحی لایه نازک سیلیکان
عنوان مقاله: بررسی خواص مقاومت ویژه سطحی لایه نازک سیلیکان
شناسه ملی مقاله: ISSE10_043
منتشر شده در دهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی در سال 1388
شناسه ملی مقاله: ISSE10_043
منتشر شده در دهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی در سال 1388
مشخصات نویسندگان مقاله:
نرگس صادق بیگی - گروه فیزیک ، دانشگاه الزهرا (س)
رضا ثابت داریانی - گروه فیزیک ، دانشگاه الزهرا (س)
خلاصه مقاله:
نرگس صادق بیگی - گروه فیزیک ، دانشگاه الزهرا (س)
رضا ثابت داریانی - گروه فیزیک ، دانشگاه الزهرا (س)
لایه نشانی ویفر سیلیکون به روش لایه نشانی با زاویه فرودی مایل تحت زوایای 75و 85 درجه انجام شد اندازه گیری مقاومت سطحی لایه، به روش ون در پاو انجام و نتایج آن با مقاومت زیرلایه که به همین روش اندازه گیری شده است، مقایسه شد نتایج به دست آمده نشان می دهد، مساحت سطحی و در نتیجه مقاومت سطحی نمونه ی °75 به مراتب بزرگتر از °85 و همچنین مساحت سطحی °85 به مراتب بزرگتر از ویفر می باشد.
کلمات کلیدی: ون در پاو، سیلیکان، مقاومت ویژه
صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/69512/