CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

گواهی نمایه سازی مقاله استفاده از روش لیتوگرافی نرم جهت ایجاد میکروساختارها روی بستر آب دوست شده پلیمر PMMA

عنوان مقاله: استفاده از روش لیتوگرافی نرم جهت ایجاد میکروساختارها روی بستر آب دوست شده پلیمر PMMA
شناسه (COI) مقاله: JR_TJEE-46-2_014
منتشر شده در فصلنامه مهندسی برق دانشگاه تبریز در سال ۱۳۹۵
مشخصات نویسندگان مقاله:

علیرضا شمسی - دانشجوی دکتری، دانشکده برق و الکترونیک - دانشگاه صنعتی مالک اشتر - تهران - ایران
سعید دل آرام فرمانی - کارشناس ارشد، دانشکده برق و الکترونیک - دانشگاه صنعتی مالک اشتر - تهران - ایران
احمد عفیفی - استادیار، دانشکده برق و الکترونیک - دانشگاه صنعتی مالک اشتر - تهران - ایران

خلاصه مقاله:
روش های ساخت لیتوگرافی نرم به دلیل سادگی و هزینه پایین و سازگاری مناسب آنها با تولید انبوه امروزه توجه محققین در زمینه ساختسیستم های میکروالکترومکانیکی قرار گرفته اند. در این مقاله، روشی مفید و کم هزینه برای ایجاد میکرو ساختارها با استفاده از برجسته سازی گرم درمواد پلیمری ارایه گردیده است. مهر مورداستفاده برای این کار از جنس پلیمر SU-8 بوده که روی یک زیرلایه شیشه ای ساخته شده است. فرآیند حرارتی مورداستفاده در این روش شامل پارامترهای مهمی همچون دما و فشار است که همگی موردبررسی قرار گرفتهاند. برای اینکه بتوان از ساختارایجادشده در ابزارهای میکروسیال استفاده نمود، بستر آبگریز PMMA، آب دوست گردیده تا بتوان از آن در ابزارهای میکروسیال استفاده نمود. همچنین در این مقاله ساختارهایی با کمینه ابعاد 15 میکرومتر و ارتفاع 50 میکرومتر ساخته شده اند که برای کاربردهای میکروفلویدیکی قابل قبولاست. ویژگی های بارز این روش ساخت، سادگی به دلیل عدم به کارگیری تجهیزات پیشرفته آزمایشگاهی و هزینه کم به سبب استفاده از زیرلایهشیشه ای برای مهر و ورقه ای پلکسی به عنوان بستر می باشند.

کلمات کلیدی:
لیتوگرافی نرم، SU-8 ،MEMS میکروساختار، PMMA

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://www.civilica.com/Paper-JR_TJEE-JR_TJEE-46-2_014.html