CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

طراحی و ساخت دستگاه DCPECVD جهت رشد هم جهت و عمودی نانولوله های کربنی و بررسی اثر غلظت گازاستیلن و جریان پلاسما روی رشد

عنوان مقاله: طراحی و ساخت دستگاه DCPECVD جهت رشد هم جهت و عمودی نانولوله های کربنی و بررسی اثر غلظت گازاستیلن و جریان پلاسما روی رشد
شناسه ملی مقاله: NANOSC02_243
منتشر شده در دومین همایش دانشجویی فناوری نانو در سال 1386
مشخصات نویسندگان مقاله:

فاطمه احمدزاده - مجتمع پژوهشی کرج،پژوهشکده مواد،گروه فیزیک دانشگاه اراک
مجید مجتهدزاده لاریجانی - مجتمع پژوهشی کرج،پژوهشکده مواد
عبدالعلی ذوالانواری - گروه فیزیک دانشگاه اراک
پروین بلاش ابادی - مجتمع پژوهشی کرج،پژوهشکده مواد

خلاصه مقاله:
در این تحقیق ابتدا پس از ساخت و راه اندازی دستگاه ) DCPECVD لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسمای جریان مستقیم ) و پس از رسیدن به شرایط مطلوب رشد توانستیم نانولوله هایی هم جهت و عمودی را با استفاده از سیستم ساخته شده در دمای 750 درجه سانتیگراد در فشار 10 تور جهت کاربردهای الکترونیکی رشد دهیم . همچنین با تغییر میزان غلظت گاز استیلن و جریان پلاسما بطور جداگانه حین پروسه رشد، تاثیر این دو پارامتر را روی کیفیت و میزان نانولوله های تولید شده بررسی نمودیم .

کلمات کلیدی:
نانولوله های کربنی، روش SEM ، PECVD

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/23000/