CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

گواهی نمایه سازی مقاله بررسی نانو ساختارلایه های نازک تیتانیوم دی اکساید ساخته به روش بازپخت در دماهای متفاوت

عنوان مقاله: بررسی نانو ساختارلایه های نازک تیتانیوم دی اکساید ساخته به روش بازپخت در دماهای متفاوت
شناسه (COI) مقاله: NAYRC01_006
منتشر شده در همایش ملی نانو مواد و نانو تکنولوژی در سال ۱۳۸۸
مشخصات نویسندگان مقاله:

هاله کنگرلو - گروه فیزیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد ارومیه ، انجمن پژوهش بانوان

خلاصه مقاله:
لایه های نازک تیتانیوم به روی زیر لایه شیشه به روش تبخیر حرارتی تهیه شده و سپس با استفاده از کوره آنیل و حضور فلوی اکسیژن در دماهای مختلف اکسید تیتانیوم تهیه شد . در نهایت با استفاده از روشهای آنالیز RBS (برای تعیین ضخامت لایه های تیتانیوم) ، AFM (برای بررسی توپوگرافی سطح و چگونگی اکسید شدن لایه ها) و XRD (برای تعیین فازها و ترکیبات مختلف ساختاری مانند فاز آناتاس و روتایل و یا ترکیبی از آنها) به بررسی کیفی و کمی لایه ها مورد مطالعه قرار گرفت.

کلمات کلیدی:
آنیل ، AFM ، RBS ، XRD و نانو ساختار

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://www.civilica.com/Paper-NAYRC01-NAYRC01_006.html