CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

گواهی نمایه سازی مقاله بررسی تاثیر توان لایه نشانی بر روی ویژگی های بلوری و نوری نانو ساختار های اکسید روی آلاییده شده توسط آلومینیوم لایه نشانی شده توسط کندوپاش رادیویی

عنوان مقاله: بررسی تاثیر توان لایه نشانی بر روی ویژگی های بلوری و نوری نانو ساختار های اکسید روی آلاییده شده توسط آلومینیوم لایه نشانی شده توسط کندوپاش رادیویی
شناسه (COI) مقاله: NAYRC01_023
منتشر شده در همایش ملی نانو مواد و نانو تکنولوژی در سال ۱۳۸۸
مشخصات نویسندگان مقاله:

سید منوچهر حسینی پیلانگرگی - باشگاه پژوهشگران جوان، دانشگاه آزاد اسلامی واحد تویسرکان، همدلن، ا
مهدی کریمی - باشگاه پژوهشگران جوان، دانشگاه آزاد اسلامی واحد تویسرکان، همدلن، ا
فاطمه دهقان نیری - آزمایشگاه لایه نازک، دانشکده برق و کامپیوتر، دانشگاه تهران، تهران،
ابراهیم اصل سلیمانی - آزمایشگاه لایه نازک، دانشکده برق و کامپیوتر، دانشگاه تهران، تهران،

خلاصه مقاله:
پوشش های نازک اکسید روی آلاییده شده با آلومینیوم (AZO) در دمای اتاق و توسط دستگاه کندوپاش رادیویی از ماده هدف اکسید روی آلاییده شده تهیه می شود. لایه نشانی در محیط آرگون با خلوص 99 ، 99% و بدون گرما دادن به زیرلایه و با توان پلاسمای 100 تا 300 وات انجام می شود و اثر توان پلاسما بر روی خواص نوری پوشش ها بررسی می گردد. شفافیت و شکاف انرژی توسط اندازه گیری طیف عبوری بررسی می شود. ساختار فیزیکی پوشش ها نیز توسط آنالیز XRD مورد بررسی قرار می گیرد. نشان داده شده که خواص فیزیکی و نوری پوشش ها وابسته به توان لایه نشانی است. پوشش های AZO تحت شرایط مختلف لایه نشانی خواص بلوری متفاوتی خواهند داشت. آزمایشات نشان داده است که پوشش های AZO با کیفیت بالای ساختار فیزیکی و طیف عبوری می تواند با روش کندوپاش رادیویی و بر روی زیرلایه شیشه به دست آید.

کلمات کلیدی:
نانو ساختار ها، اکسید روی آلاییده شده، پوشش های شفاف، ویژگی های بلوری و نوری

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://www.civilica.com/Paper-NAYRC01-NAYRC01_023.html