CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

طراحی و ساخت منبع یون ساز به منظور افزایش کیفت لایه های نازک تحت خلاء بالا

عنوان مقاله: طراحی و ساخت منبع یون ساز به منظور افزایش کیفت لایه های نازک تحت خلاء بالا
شناسه ملی مقاله: NCV02_006
منتشر شده در دومین کنفرانس ملی خلاء در سال 1385
مشخصات نویسندگان مقاله:

داود کلهر - دانشکده فیزیک، دانشگاه علوم پایه دامغان
فرهاد ایمانی - مرکز فناوری خلاء بالا، جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران
وحید مساحتی - مرکز فناوری خلاء بالا، جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران

خلاصه مقاله:
در این مقاله که در سه بخش ارائه م یشود ابتدا خلاصه مطالعات انجام شده برروی چشم ههای یونی توضیح داده شده و سپس چگونگی طراحی یک چشمه یون مناسب برای فرآین دهای لای هنشانی، تشریح گردیده است. در بخش سوم آزمایش های ی که به منظور بررسی کیفیت و عملکرد دستگاه چشمه یونی برای تولید یون اکسیژن انجام شده توضیح داده شده است. لای ههای نازک اپتیکی In2O و 3 Ti2O 3 در حضور یون اکسیژن تهیه و خواص مکانیکی و اپتیکی آنها بررسی شده که مؤید کیفیت و عملکرد دستگاه چشمه یونی می باشد

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/25586/