CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

تاثیر پخت بر ساختار بلوری لایه های نازک اکسید ایندیم آلاییده به قلع (ITO) تهیه شده به روش کندوپاش

عنوان مقاله: تاثیر پخت بر ساختار بلوری لایه های نازک اکسید ایندیم آلاییده به قلع (ITO) تهیه شده به روش کندوپاش
شناسه ملی مقاله: SCMI14_044
منتشر شده در چهاردهمین همایش بلور شناسی و کانی شناسی ایران در سال 1385
مشخصات نویسندگان مقاله:

نگین معنوی زاده - گروه فیزیک، دانشکده علوم، دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی
محمدهادی ملکی - پژوهشکده لیزر و اپتیک، سازمان انرژی اتمی ایران

خلاصه مقاله:
لایه های نازک اکسید ایندیم آلاییده به قلع (ITO) بر روی زیر لایه های شیشه ای به شیوه کندوپاش RF و با استفاده از هدف سرامیکی (In2O3-SnO2, 90-10wt.%) ITO لایه نشانی شده، سپس عملیات پخت بعد از انجام لایه نشانی، در محیط خلا در دماهای مختلف انجام گرفته است. تغییر ساختاری بلوری این لایه ها در دماهای مختلف و تاثیر آن بر خواص الکتریکی و اپتیکی این لایه ها مورد بررسی قرار گرفته است. ساختار کریستالی، مشخصه های الکتریکی و اپتیکی این لایه های نازک به ترتیب توسط انالیزهای XRD مقاومت چهارپروبی و طیف سنجی UV/VIS/IR بررسی شده است. نتایج نشان می دهد که با افزایش دمای پخت در خلاء ساختار کریستالی لایه ها تغییر کرده و به دنبال آن مقاومت الکتریکی و شفافیت لایه بهبود می یابد.

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/34008/