CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

گواهی نمایه سازی مقاله کاهش خطا در شتاب سنج خازنی MEMS به منظورافزایش دقت شتاب سنج با استفاده از مدولاتور سیگما دلتا

عنوان مقاله: کاهش خطا در شتاب سنج خازنی MEMS به منظورافزایش دقت شتاب سنج با استفاده از مدولاتور سیگما دلتا
شناسه (COI) مقاله: TDCONF01_194
منتشر شده در اولین همایش ملی الکترونیکی پیشرفت های تکنولوژی در مهندسی برق، الکترونیک و کامپیوتر در سال ۱۳۹۳
مشخصات نویسندگان مقاله:

وحید حجتی - دانشجوی کارشناسی ارشد الکترونیک دانشگاه جامع امام حسین(ع)
سید محمد علوی - استادیار دانشگاه جامع امام حسین(ع)

خلاصه مقاله:
مقابله با نویز به عنوان عامل محدود کننده دقت در سنسورهای با ابعاد میکرونی بسیار اهمیت دارد. در اینجا نشان می دهیم که با استفاده از مدولاسیون سیگما دلتا می توان علاوه بر اخذ خروجی دیجیتال، توان نویز براونی را کاهش داد. در این مقاله ابتدا به معرفی منبع عمده تولید نویز پرداخته شده و سپس مدولاتور سیگما دلتا شرح داده شده و ترکیب خاصی از آن به منظور کاهش خطای غیر سیستماتیک مکانیکی طراحی گشته است. در این طراحی یک شتاب سنج خازنی میکرو الکترومکانیکی به صورت حلقه بسته با شتاب ورودی قابل قبول 10g ± مدل سازی و شبیه سازی شده است. از میان انواع مبدل ها و روش های حسگری موجود، از روش خازنی به دلیل سازگاری آن با تکنولوژی Mems و مدارات مجتمع جهت پردازش سیگنال استفاده شده است. در طراحی مدارات الکترونیک از یک تقویت کننده مد بار سوئیچ خازنی برای رسیدن به بهره بالا و یک مدولاتور سیگما دلتا جهت کاهش نویز استفاده شده است. هدف این طراحی، کم کردن نویز کلی معادل شتاب از طریق کم کردن نویز براونین معادل شتاب و بدست آوردن مقداری بهینه برای مقادیر خازنی است. در این طراحی میزان فرکانس 1.6 KHz حاصل گردیده است. . با استفاده از نتایج این شتاب سنج مقادیر حساسیت، نویز براونین معادل شتاب، نویز مداری معادل شتاب، و نویز معادل کلی شتاب به ترتیب 0.356 pfg -1، 0.65µgHz -1/2 ، 0.56µgHz -1/2 ، 0.86µgHz -1/2 ، بدست آمده است که این مقادیر خوب و بهینه ای هستند.

کلمات کلیدی:
شتاب سنج MEMS، نویز براونی، مبدل سیگما دلتا، حلقه پس خور، توان معادل نویز

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://www.civilica.com/Paper-TDCONF01-TDCONF01_194.html