CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

گواهی نمایه سازی مقاله شبیه سازی تنش های پسماند در پوششهای لایه نازک TiN و CrN با استفاده از روش اجزای محدود

عنوان مقاله: شبیه سازی تنش های پسماند در پوششهای لایه نازک TiN و CrN با استفاده از روش اجزای محدود
شناسه (COI) مقاله: THINFILM01_002
منتشر شده در اولین کنفرانس ملی نوآوری ها در پردازش لایه های نازک و مشخصه های آنها در سال ۱۳۹۰
مشخصات نویسندگان مقاله:

مهدی اکبرزاده مقدم - دانشجوی کارشناسی ارشد صنعتی اصفهان
محمد بخشیان بافرانی - دانشجوی کارشناسی ارشد صنعتی اصفهان
علی شفیعی - دانشیار دانشگاه صنعتی اصفهان

خلاصه مقاله:
به دلیل اهمیت تنش پسماند در پوشش های سخت لایه نازک،در مقاله حاضر به ارزیابی و تحلیل تنش پسماند با استفاده از روش شبیه سازی اجزاء محدود در محیط انسیس، پرداخته میشود.بدین منظور تنش های پسماند در دو پوشش لایه نازک TiNوCrN اعمال شده توسط روش رشوب فیزیکی بخار با استفاده از قوس کاتدی شبیه سازی شد و با نتایج آزمایشگاهی به منظور اندازه گیری تنش مقایسه گردید.نتایج به دست آمده حاکی از تطابق مناسب بین نتایح حاصل از این شبیه سازی و مقادیر تجربی دارد.

کلمات کلیدی:
لایه نازک ،شبیه سازی اجزای محدود ،تنش پسماند ،رسوب فیزیکی بخار

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://www.civilica.com/Paper-THINFILM01-THINFILM01_002.html