CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

گواهی نمایه سازی مقاله مطالعه وابستگی آهنگ انباشت و توان بازتابندگی لایه های نازک آلومینیوم انباشت شده به روش کندوپاش مگنترون نسبت به پارامترهای انباشت لایه

عنوان مقاله: مطالعه وابستگی آهنگ انباشت و توان بازتابندگی لایه های نازک آلومینیوم انباشت شده به روش کندوپاش مگنترون نسبت به پارامترهای انباشت لایه
شناسه (COI) مقاله: THINFILM01_013
منتشر شده در اولین کنفرانس ملی نوآوری ها در پردازش لایه های نازک و مشخصه های آنها در سال ۱۳۹۰
مشخصات نویسندگان مقاله:

اکبر زنده نام - آزمایشگاه لایه های نازک ، گروه فیزیک دانشکده علوم ، دانشگاه اراک
مهناز مشایخی - آزمایشگاه لایه های نازک ، گروه فیزیک دانشکده علوم ، دانشگاه اراک

خلاصه مقاله:
در این کار تجربی لایه های نازک آلومینیوم زیرلایه های شیشه ای به روش کندوپاش مگنترون در شرایط متنوع انباشت گردیده اند. با بهره گیری از دستگاه اسپکتروفوتومتر دو پرتوی با گستره ی طول موجی 2500-200 نانو متر، توان بازتابندگی سطوح لایه های مذکور برای آهنگ های متنوع انباشت (0.3 تا 1.5 نانومتر )و ضخامت های متفاوت لایه های نازک (25 تا 100 نانومتر) مورد مطالعه قرار گرفته و تاثیر عوامل انباشت روی آهنگ لایه نشانی بررسی شده است.

کلمات کلیدی:


صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://www.civilica.com/Paper-THINFILM01-THINFILM01_013.html