CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

گواهی نمایه سازی مقاله مطالعه عوامل موثر بر عملکرد رزوناتور میکروتیر

عنوان مقاله: مطالعه عوامل موثر بر عملکرد رزوناتور میکروتیر
شناسه (COI) مقاله: THINFILM01_017
منتشر شده در اولین کنفرانس ملی نوآوری ها در پردازش لایه های نازک و مشخصه های آنها در سال ۱۳۹۰
مشخصات نویسندگان مقاله:

عقیل موسوی - دانشجوی کارشناسی ارشددانشکده ی مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،مازندران، ایران.
بهرام عزیزا... گنجی - استادیار دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر،دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، مازندران، ایران.

خلاصه مقاله:
مشخصه های خروجی رزوناتور میکروالکترومکانیکی (MEMS) به پارامترهایی از قبیل نوع تحریک، ساختار، ابعاد و مواد به کار رفته بستگی دارد. در این مقاله عملکرد رزوناتور میکروتیر (مدل الکترو استاتیک) تشریح شده است و تاثیر پارامترهای مختلف بر ضریب کیفیت و فرکانس رزونانس به روش تحلیلی و شبیه سازی نشان داده و مقایسه شده اند.با استفاده از این نتایج میتوان پارامترهای بهینه برای دست یافتن به ضریب کیفیت بالاتر در فرکانس مورد نظر را پیدا کرد.

کلمات کلیدی:
میکروالکترومکانیک(MEMS)، رزوناتور میکروتیر، ضریب کیفیت، فرکانس رزونانس

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://www.civilica.com/Paper-THINFILM01-THINFILM01_017.html