CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

گواهی نمایه سازی مقاله نانو لیتوگرافی حرارتی

عنوان مقاله: نانو لیتوگرافی حرارتی
شناسه (COI) مقاله: THINFILM01_019
منتشر شده در اولین کنفرانس ملی نوآوری ها در پردازش لایه های نازک و مشخصه های آنها در سال ۱۳۹۰
مشخصات نویسندگان مقاله:

مرضیه رمضانی - دانشکده فیزیک، دانشگاه شهید باهنر کرمان
محمد حسین زندی - دانشکده فیزیک، دانشگاه شهید باهنر کرمان
علیرضا بهرامپور - دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف تهران

خلاصه مقاله:
در این مقاله، روش لیتوگرافی در ابعاد نانو به وسیله ی ذوب یک لایه ی نازک پلیمری انجام شده است. به گونه ای که با قرار دادن نانو میله های طلا روی یک لایه ی نازک پلیمری و تاباندن نور لیزر به آن ، حرارت لازم برای ذوب لایه ی نازک پلیمری و انجام عملیات لیتوگرافی توسط نانو میله های طلا فراهم شده است.

کلمات کلیدی:
نانو لیتوگرافی، نانو میله های طلا، پلاسمون سطحی

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://www.civilica.com/Paper-THINFILM01-THINFILM01_019.html