CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

گواهی نمایه سازی مقاله بازتاب سنجی اشعه ایکس ؛ تکنیکی کارآمد ئر مشخصه یابی ساختاری لایه های نازک و چندلایه ای ها

عنوان مقاله: بازتاب سنجی اشعه ایکس ؛ تکنیکی کارآمد ئر مشخصه یابی ساختاری لایه های نازک و چندلایه ای ها
شناسه (COI) مقاله: THINFILM01_040
منتشر شده در اولین کنفرانس ملی نوآوری ها در پردازش لایه های نازک و مشخصه های آنها در سال ۱۳۹۰
مشخصات نویسندگان مقاله:

حسین رعنائی - گروه فیزیک دانشگاه خلیج فارس، بوشهر

خلاصه مقاله:
در این مقاله تکنیک بازتاب اشعه ایکس جهت مشخصه یابی لایه های نازک معرفی می گردد. چندین نمونه چند لایه ای با استفاده از تکنیک کندوپاش مغناطیسی رشد داده شده اند. ساختار لایه ای نمونه ها با لستفاده از تکنیک های بازتاب و میکرسکوپ الکترونی مورد مطالعه قرار گرفته اند. نشان داده شده است که داده های بازتاب سنجی از ساختار نمونه ها می تواند اطلاعاتی را چون ضخامت لایه ها، تغییرات ضخامت و ناهمواری بین سطوح مشترک لایه ها را فراهم سازد که با فضای حقیقی تطابق دارد.

کلمات کلیدی:


صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://www.civilica.com/Paper-THINFILM01-THINFILM01_040.html