فرید خموئی تولی - کارشناسی ارشد، دانشکده برق، دانشگاه علم و صنعت ایران، تهران، ایران،
جواد یاوند حسنی - استادیار، دانشکده برق، دانشگاه علم و صنعت ایران، تهران، ایران،

بالا بودن ولتاژ تحریک یکی از مهمترین محدودیت های سوئیچ های RF MEMS است، که با کاهش ثابت فنری می توان آن را کم کرد. اما کاهش بیش از حد ثابت فنری سوئیچ را از کار می اندازد. در این مقاله با ارائه یک تحلیل ریاضی جدید مقدار حداقل ثابت فنری را به دست آورده و در ادامه، ساختار جدید ایمن شده ای ارائه شده است ، که دارای ولتاژ تحریک 1.8 ولت و زمان سوئیچینگ 25.6 میکروثانیه و با حداکثر استرس قابل تحمل 4.5 مگا پاسکال، فرکانس طبیعی سوئیچ 3118.6 هرتز و جرم آن 0.206 نانوگرم و درنتیجه ثابت فنر 0.79 نیوتن بر متر است که در تحلیل فوق صدق می کند، جنس پل و بیم ها از طلا و دی الکتریک از Si3N4 استفاده شده است.

ولتاژ تحریک، سوئیچ RF MEMS ،ثابت فنری، زمان سوئیچینگ، حداکثر استرس قابل تحمل