علی باقی زاده - بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
مهرداد شیروانی - بخش لیزر نیمه هادی، مرکز تحقیقات لیزر، سازمان انرژی اتمی ایران، تهرا
داود آقاعلی گل - بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
محمد فرمینی فراهانی - بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر

در این مقاله اثر کاشت هیدروژن در ساختار سطحی بلور 6H-SiC مورد بررسی قرار گرفته است . سطح بلور در دو ناحیه کاشت شده و بدون کاشت با کمکAFM بررسی و مقایسه شده است . کیفیت ساختار بلوری و اثر کاشت هیدروژن در عمق بلور با استفاده از آنالیز RBS-Channeling مطالعه گردیده است افزایش نایکنواختی سطح در ناحیه کاشت شده را نسبت به ناحیه بدون کاشت نشان می دهند . اما نشانه ای از تاثیر کاشت بر روی نانوخراش AFM نتایج آزمایش های ایجاد شده بعد از فرآیند زدایش دیده نمی شود . همچنین، ایجاد آسیب شبکه ای بر اثر برخورد هیدروژن با اتم های سیلیکان و کربن در نتایج آنالیز کانال زنی دیده می شود