مهتاب رحیم خانی - دانشگاه تبریز
یوسف حجت - عضو هیئت علمی دانشگاه تربیت مدرس
احمد قنبری - عضو هیئت علمی دانشگاه تبریز

در این پژوهش سعی شده است با داشتن مطالعه جامعی از انواع میکروپمپ های پیزوالکتریکی ساخته شده و بر اساس مکانیزم پمپاژ سیال، دسته بندی مناسبی برای آن ها ارائه شود. هدف از نگارش این مقاله ایجاد یک مرجع کاربردی برای علاقه مندان در این زمینه و جهت دهی به ایده های خلاقانه برای طراحی ساختار این نوع میکروپمپ است. میکروپمپ های پیزوالکتریک تاکنون ساخته شده را می توان در یکی از دسته-های دیافراگمی، کرم وار و یا آلتراسونیکی قرار داد. در ادامه به تشریح هرکدام از این دسته ها و ارائه ی مثال هایی از این مکانیزم ها پرداخته می-شود.

پیزوالکتریک، عملگر، میکروپمپ، نرخ جریان