سیدحسین کشمیری - آزمایشگاه تحقیقاتی میکروالکترونیک، دانشکده علوم، دانشگاه فردوسی م
حسین زمانی - پژوهشکده تحقیقات توسعه فناوری خراسان، پارک علم و فناوری خراسان
ابوذر امینی
یدالله فرزانه

در این مقاله پس از معرفی نحوه کار پمپ خلأ جت بخار به بررسی عوامل مؤثر در بهینهسازی عملکرد آن پرداخته شده، و مراحل ساخت و تولید یک پمپ جت بخار با ظرفیت 600 لیتر بر ثانیه توضیح داده شده است. پمپ ساخته شده در یک سیستم لایهنشانی تحت خلأ بالا نصب و آزمایش گردیده و نتایج عم لکرد آن در مقایسه با یک نمونه استاندارد مورد ارزیابی قرار گرفته است. نتایج حاصله نشان میدهد که پمپ ساخته شده قابلیت ایجاد خلأ بالاتری را در زمانی کوتاهتر (در مقایسه با نمونه خارجی) دارا میباشد.