حسن کمالی - دانشجوی گروه الکترونیک،دانشکده فنی مهندسی، واحد بندرعباس، دانشگاه آزاد اسلامی،بندرعباس،ایران
فرشاد بابازاده - استادیار گروه الکترونیک،دانشکده مهندسی برق،واحد یادگار امام خمینی (ره) شهر ری،دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران

در این مقاله دو سنسور فشار میکروالکترومکانیکی مبتنی بر تکنولژی MEMS گزارش می شود. ابعاد این ساختارها برابر 20μm *20μm *400μm است. اما ابعاد غشاهای آن برای تولید مد موجی برابر 2μm *20μm *200μm می باشد به عبارتی ضخامت غشا μm 2 است. مد موجی سنسور دو غشایی تحت اعمال فشار 600Mpa0 جابجایی فرکانسی 2/18MHz را دارا می باشد اما سنسور فشار تک غشایی میکروالکترومکانیکی تحت همان اعمال فشار جابجایی فرکانسی معادل 2/75MHz را دارد. فرکانس ارتعاش مد موجی بیست و ششم در سنسور فشار میکرو الکترومکانیکی تک غشایی 120/99MHzو در سنسور فشار دو غشایی 118/29MHZ است. این سنسورها در نرم افزار ANSYS طراحی و شبیه سازی شده اند.

سنسور فشار، MEMS، دو مدی، غشاء، مد موجی