هانیه افخمی اردکانی - تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر و پلاسما
عاطفه مموزاده - تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر و پلاسما
سیدحسن توسلی - تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر و پلاسما

در این مقاله به مطالعه روش طیف سنجی تخلیه القایی لیزری (LIBS) به منظور ضخامت سنجی لایه مس بر زیرلایه آلومینیوم پرداخته میشود. هارمونیک چهارم لیزر Nd:YAG با طولموج 266 نانومتر و طول پالس 5ns به منظور ایجاد کندگی در نمونه ها به کارمیرود. اثر انرژیهای مختلف لیزر و ضخامت لایه بر نرخ کندگی و تفکیک پذیری عمق مورد بررسی قرار میگیرد. نمایه های عمق بهنجار شدهی شدت طیفی (NI) با مورد غلظت بهنجار شده (NC) مقایسه میگردند. به منظور شبیه سازی آنالیز نمایه عمق نمونه های فلزی، مدل کندگی لیزری چندپالسی در سه بعد معرفی میگردد. ضریب همبستگی بالای 0.98 ، بین نمایه های عمق حاصل از مدل و آزمایشات که بر مبنای روش NC بدست آمدند ملاحظه گردید.

تفکیک پذیری عمق، ضخامت سنجی، طیف سنجی تخلیه القایی لیزری، نرخ کندگی، نمایه عمق