تحلیل و طراحی سنسور فشارخون بیسیم با حساسیت بالا با استفاده از تکنولوژیMEMS

این مقاله، یک سنسور فشارخون بیسیم غیرفعال قابل کاشت روی بدن با اسلات گذاری در لبه ها را ارائه میدهد. این سنسور برای کنترل مداوم فشارخون، برای افرادی که فشارخون بالایی دارند طراحی شده است. این سنسور یک سلف مربعی از جنس طلا، و یک خازن دایره ای که در لبه ثابت شده چهار شکاف در گوشه دیافراگم خازن با دیافراگم پلیماید حساس به فشار تشکیل شده است. سلف و خازن به طور موازی باهم اتصال دارند. این سنسور داخل یک کاف الاستیکی که دور یک رگ پیچیده میشود قرار دارد، همین طور داخل روغن سیلیکونی غوطه ور شده است. بهمنظور ایزوله کردن سنسور ازبک محفظه پلی ماید استفاده شده است. هدف این پایاننامه، افزایش حساسیت خازن برای دریافت فشارخون با دقت بالا میباشد.وقتی به سنسور فشاری اعمال میشود، دیافراگم با ضخامت ۲۲ میکرومتر را خم میکند. این خمش در اثر اعمال فشار منجر به تغییر ظرفیت خازن و در نتیجه باعث تغییر فرکانس رزونانس مدار میشود. این تغییر، از راه دور در فاصله ۱۰ میلیمتری در بیرون بدن دریافت میشود. با تغییر فشار از ۰mmhg تا ۲۵۰ ، ظرفیت خازنی از۰/۳۸pf تاpf۰/۶تغییرمیکند.با تغییر ظرفیت خازنی،فرکانس رزونانس هم از ۳۶۹MhzتاMhz۲۸۰تغییر میکند. آنالیز ریاضی سنسور با استفاده از نرم افزار MATLABوشبیه سازی آن با استفاده از نرم افزار COMSOL انجام شده است. سنسور دارای ابعاد ۲/۵mm ۲/۵mm میباشد.این سنسور دارای حساسیت خازنی ۱.۶۱ ℎft/mmhg می باشد.که نسبت به کارهای انجام شده بیشتر است.

کلیدواژه ها:

memsسنسور فشار خون غیر فعال ، پلیماید ، خازن دایره ای