طراحی و ساخت محفظه خلاء به منظور لایه نشانی به روشهای کند و پاش لیزری و مغناطیسی
محل انتشار: دومین کنفرانس ملی خلاء
سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 4,195
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCV02_004
تاریخ نمایه سازی: 20 بهمن 1385
چکیده مقاله:
در این مقاله گزارش مختصری از طراحی و ساخت یک دستگاه لایه نشانی در خلا به روش کندو سوز لیزری وکند و پاش مغناطیسی ارائه میگردد. معرفی مشخصات کلی تجهیزات طزاحی و ساخته شده مانند محفظه اصلی، کاتد کندوپاش مغناطیسی، نگهدارنده هدف، فیدتروهای مکانیکی و الکتریکی مناسب برای خلا از مواردی است که به آنها پرداخته خواهد شد
نویسندگان
سیداحمد مهدوی اردکانی
دانشکده صنعت هواپیمایی کشوری
اعظم ایرجی زاد
دانشکده فیزیک، دانشگاه تهران
سیدمحمد مهدوی
دانشکده فیزیک، دانشگاه تهران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :