افزایش ضریب کیفیت سلف مسطح مربعیMEMS با کاهش اثر تجمع جریان در لبه ها و اثر همجواری

در این مقاله، یک سلف مسطح جدید با ضریب کیفیت باال، ارایه شده است. توزیع چگالی جریان غیریکنواخت به ویژه در دورهای داخلی با توجه به اثر پوستی و اثر همجواری، مقاومت موثر را افزایش میدهد. برای غلبه بر این مشکل، یک سلف جدید با عرض فلز و فاصله ی بین رشته ایی غیریکنواخت، به منظور افزایش ضریب کیفیت طرح شده است. برای طرح این سلف، از دور بیرونی به دور داخلی، عرض فلز کاهش و فاصله ی بین رشته ها افزایش مییابد. شبیه سازی توسط نرمافزار Multiphysics COMSOL صورت گرفته است که بیشترین مقدار ضریب کیفیت و اندوکتانس خودی به ترتیب در حدود 34.80 و 324 نانوهانری میباشد. نسبت به سلف معمولی 27 % در ضریب کیفیت بهبود یافت. فضای ساختاری اشغال شده 66.1*7.1 میلیمتر مربع است.

کلیدواژه ها:

سلف مسطح ، عرض و فاصله ی بین رشته ایی غیریکنواخت ، اثر همجواری ، ضریب کیفیت