لیتیوگرافی نانو جت فلش در ساخت سنسورهای موج صوتی در پهنای باند کریستال های فتونیکیMZI برای مدولاتور 10 گیگا بیت بر ثانیه براساس زیربنای سیلیسیم 100 میکرومتری
سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 703
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IAUFASA02_039
تاریخ نمایه سازی: 17 اسفند 1393
چکیده مقاله:
لیتیوگرافی منقوش نانو جت وفلشNIL برای ساخت سنسورهای موج صوتی سطحSAWبا موفقیت مورد استفاده قرار گرفت این سنسورهایSAWبرای سنجش از بیسیم غیرفعال پارامترهای فیزیکی به عنوان مثال دمای داخل توربین های موتر گاز استفاده میشود . این اولین فلز زمان فرایند برداشتن براساس جت وفلشNILاست در بستر مواد فیزیو الکتریک )لانتانیم گالیم سیلسکات(لانگاسیت تاسیس شده اند.فراوریNILسنسور دمایی لانگاسیتSAW با موفقیت در کاهش کریستال های مختلف وفلزکاری الکترودSAW با استفاده از پلاتین / تیتانیم ونیکل /تیتانیم آزمایش شده است.لانگاسیت مبتنی بر سنسورهایSAWبه صورت غیر فعال می تواند برای نظارت دمای بیسیم غیرفعال تا 059 درجه سانتی گراد مورد استفاده قرار گیرد . همچنین ما اولین بستر 10
کلیدواژه ها:
سنسور ، بیسیم های غیرفعال ، لیتوگرافی ، سطح موج صوتی ، موج بر های فوتونیک کریستال ، فوتونیک سیلیکونی ، مدولاتور نوری
نویسندگان
حاتم محمدی کامروا
دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا،گروه مهندسی برق و الکترونیک،فسا،ایران
محمد احمدی پور
دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق-الکترونیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا
میثم کرمی زاده
دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق-الکترونیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :