طراحی، تحلیل و شبیه سازی میکروسنسور شیب خازنی
سال انتشار: 1401
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 186
فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_JIAE-19-3_012
تاریخ نمایه سازی: 16 مهر 1401
چکیده مقاله:
در این مقاله برای اندازه گیری زاویه حول محور افقی (x)، میکرو سنسور های شیب خازنی مبتنی بر تکنولوژی MEMS طراحی، تحلیل و شبیه سازی شده اند. ساختار هر میکرو سنسور استوانه ای شکل است که خازن های بین انگشتی با الکترودهایی از جنس مس، بر روی یکی از قاعده های آن قرار گرفته اند. الکترودهای خازن های بین انگشتی به صورت یک در میان به ولتاژ های زمین و ترمینال وصل می شوند. نیمی از حجم استوانه با روغن سیلیکون و نیمه دیگر با هوا پر شده است. با چرخش استوانه حول محور افقی به دلیل ثابت ماندن سطح روغن درون محفظه به علت گرانش، سطح الکترودهایی که درون روغن قرار می گیرند تغییرکرده، در نتیجه مقدار خازن های ساختار و بدنبال آن، خروجی تغییر می یابد. از این تغییرات برای اندازه گیری زاویه استفاده می شود. با یک تحلیل دقیق، تاثیر تغییرات زاویه بر ظرفیت خازن های ساختار و خروجی، مورد بررسی قرار گرفته است، بعلاوه ساختارهای پیشنهادی با کمک نرمافزارCOMSOL Multiphysics شبیهسازی شدهاند که نتایج حاصل از شبیهسازی و تحلیل موید یکدیگر می باشند. دو ساختار به ترتیب با حساسیت های fF/deg ۴۴ و fF/deg۸۸ زاویه را در بازه ° ۹۰- تا °۹۰+ یا °۰ تا °۱۸۰ اندازه گیری می کنند..
کلیدواژه ها:
Tilt capacitive micro-sensors ، interdigital capacitor ، measuring range ، sensitivity ، liquid dielectric ، میکرو سنسور خازنی شیب ، خازن های بین انگشتی ، رنج اندازه گیری ، حساسیت ، دی الکتریک مایع.
نویسندگان
زینب ورع
Shahid bahonar university of Kerman
مهدیه مهران
Shahid bahonar university of Kerman
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :