شبیه سازی میکرو سنسور اندازه گیری با استفاده از بلور فوتونی

در این مقاله با استفاده از ساختارهای بلور فوتونی دو بعدی، یک میکروسنسور جابه جایی طراحی کردیم. این ساختار شامل یک شش ضلعی است که در هر ضلع آن ۷ حفره قرار گرفته است. جنس حفره ها هواست که در یک زمینه سیلیکونی قرار داده شده است. حفره ها در یک آرایش مثلثی چیده شده اند. در این میکروسنسور ابتدا با استفاده از شبیه سازی روش تفاضل محدود حوزه زمان مقادیر بهینه فرکانس کاری و ثابت شیکه بلور فوتونی محاسبه شد. شدت موج منتشر شده در فاصله دو میکرومتری سمت چپ ساختار به دست آمد. در این فاصله تغییرات موج منتشر شده نسبت به جابجایی تغبیرات خطی داشت. حساسیت این سنسور  به دست آمد. بنابر مقادیر به دست آمده این ساختار در طول موج مناسب قابلیت استفاده به عنوان میکروسنسور را دارد که از حساسیت بسیار خوبی نیز برخوردار است. این میکروسنسور جابجایی در سیستم های اندازه گیری مانند سیستم های میکروالکترومکانیکی، فضایی - هوایی، مانیورینگ سلامتی و نیز در بسیاری از حوزه های مهندسی کاربرد دارد.

کلیدواژه ها:

بلور فوتونی ، شبیه سازی تفاضل محدود در حوزه زمان ، حساسیت ، کیفیت ، میکروسنسور جابه جایی