روش جدید طراحی و مدل سازی خازن متغیر میکروالکترومکانیکی با تحریک الکتروستاتیکی

در این مقاله طراحی و مدل سازی یک خازن متغیر میکروالکترومکانیکی با تحریک الکتروستاتیکی ارائه شده است. ابعاد این خازن متغیر برابر 100×100×2میکرومتر مربع و از جنس آلومینیوم می باشد. ولتاژ تحریک در این ساختار بسیار کم و برابر 3 ولت می باشد. از دست آوردهای این مقاله انجام آنالیزهای حساسیت, تاثیر میزان تغییر طول فنرها, و تغییر ضخامت ساختار بر روی پارامترهایی نظیر فرکانس طبیعی ساختار, ماکزیمم تنش, و ماکزیمم جابجایی صفحه ی بالایی با استفاده از نرم افزارهایMATLAB و ANSYSاست. تحلیل های استاتیکی و مودال برای یافتن ماکزیمم جابجای صفحه ی بالایی, ماکزیمم تنش, و فرکانس طبیعی با استفاده از نرم افزارANSYSانجام شده است. همچنین با استفاده از نرم افزارMATLABو کوپل کردن آن با نرم افزارANSYSتحلیل های آنالیز حساسیت به دست آمده است. کوپل کردن به این صورت است که با کد نویسی از درون برنامه یMATLAB نرم افزارANSYSاجرا می گرددANSYSپس از اجرایکدنویسی و محاسبه ی تحلیل های مودال, استاتیکی, و تنش, خروجی را در یک فایل ذخیره کرده وMATLABبا خواندن آن فایل, خروجی هایANSYSرا در محیط خود بازخوانی می کند و تحلیل حساسیت انجام می دهد.

کلیدواژه ها:

تحریک الکتروستاتیکی ، تحلیل حساسیت ، خازن متغیر ، میکروالکترومکانیک ، ولتاژ تحریک