بررسی تغییرات ریزساختاری پوشش های نانوساختار سخت با تغییر ترکیب شیمیایی آنها با استفاده از میکروسکوپ های الکترونی روبشی و عبوری

نتایج تحقیقات مختلف نشان داده است که رابطه ای قوی بین ریزساختار یک پوشش و خواص مکانیکی، الکتریکی و نوری آن وجود دارد. بررسی دقیقریزساختار یک پوشش، به میکروسکوپ های الکترونی نیاز دارد که قدرت تشخیص آنها در محدوده نانو و یا حتی کوچکتر از آن باشد. هدف از استفادهمیکروسکوپ های الکترونی در علم مواد، یافتن رابطه ی بین ریزساختار و خواص مختلف مواد است. در مقاله حاضر اصول کارکرد و روش تهیه نمونهمناسب برای میکروسکوپ های الکترونی با تمرکز بر میکروسکوپ الکترونی عبوری، به عنوان روشی مفید جهت ارزیابی ریزساختار پوشش های نانوساختارمورد بحث قرار خواهد گرفت. در انتها به منظور درک بهتر روشهای استفاده از میکروسکوپ های الکترونی در شناخت ریزساختاری پوشش هاینانوساختار، تغییرات ریزساختاری پوشش های CrAlN و نانوکامپوزیتی TiAlN/a-C با تغییر ترکیب شیمیایی آنها با استفاده از میکروسکوپ های الکترونی مورد بررسی قرار گرفته است.

کلیدواژه ها:

میکروسکوپ های الکترونی ، پوشش های نانوساختار سخت ، پوشش های نانوکامپوزیتی