ساخت میکروکانال با استفاده از روش لیتوگرافی نرم و بررسی پخش در ابعاد نانولیتر
محل انتشار: نهمین کنفرانس ماده چگال
سال انتشار: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 3,784
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
CMC09_097
تاریخ نمایه سازی: 6 دی 1387
چکیده مقاله:
لیتوگرافی نرم یکی از مرسوم ترین روش های ساخت تراشه های میکرونی است. با این روش امکان تولید میکرو مدارات مجتمع و کانال هایی با ابعاد نانومتر امکان پذیر است. در این مقاله روش ساخت کانال های میکرونی با استفاده از روش لیتوگرافی نرم را ارائه می دهیم و نمونه ای از کانال هایی که با این روش ساخته ایم را زیر میکروسکوب تست کرده و به عنوان یک آزمایش نشان می دهیم طول پخش دو سیال در ابعاد میکرونی از مرتبه ی سانتی متر است.
نویسندگان
حسین ناصری
آزمایشگاه میکروشاره ، دانشکده فیزیک ، دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم پایه
مهدی حبیبی
آزمایشگاه میکروشاره ، دانشکده فیزیک ، دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم پایه