تعییین انرژی های مشخصه در لایه نازک سیلیکون کرباید ساخته شده به روش بخار شیمیایی با سیم داغ در فشارهای گاز متفاوت
محل انتشار: اولین کنفرانس ملی میکرو نانو فناوری
سال انتشار: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 391
فایل این مقاله در 11 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
MNTECH01_091
تاریخ نمایه سازی: 23 آذر 1397
چکیده مقاله:
در این روش ساخت لایه نازک سیلیکون کرباید پارامترهای کنترلی زیادی وجود دارد که از جمله فشار جزیی گاز ورودی میباشد. پس از تکمیل فرایند ساخت، اثر تغییرات این پارامتر بر ویژگی های اپتیکی و ضریب شکست لایه ها از طریق اندازه گیری طیف عبور UV-Vis_NIR محاسبه گردید. بررسی چگونگی تغییر در مقادیر انرژی از طریق ضریب شکست نشان میدهد با افزایش شار ورود گاز برای نسبت سیلان به متان از مقادیر 5/10 تا2،5/50 مقدار گاف انرژی را از 2.26ev به 1.88ev کاهش می باید.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
مهرنوش فخرالدین
دانشکده فیزیک دانشگاه سمنان
فاطمه شریعتمدار طهرانی
دانشکده فیزیک دانشگاه سمنان
مجید جعفر تفرشی
دانشکده فیزیک دانشگاه سمنان