طراحی و شبیه سازی سوئیچ میکروالکترومکانیکال خازن موازی با غلبه بر چسبندگی و کاهش ولتاژ اولیه

هدف از این مقاله طراحی و شبیه سازی مکانیکی یک میکروسوئیچ فرکانس رادیویی در ابعاد میکرو می باشد. این سوئیچ ها کاربر دزیادی در صنایع مختلف دارند. سوئیچ های خازنی یک المان الکترواستاتیکی فعال هستند که ساختار آن شامل یک موجبر همسطح , یک پوسته بزرگ معلق, چهار پرتو شعاعی برای محافظت از پوسته و چهار پرتو مستقیم برای تهیه بایاس ولتاژ سوئیچ طراحی شده است. با تجزیه و تحلیل اجزا اصلی که انجام بهینه سازی پارامترهای پرتو های هندسی هستند یک حالت فلزی ثابت با ولتاژ پایین را در این طراحی در نظر گرفته ایم. با استفاده از نرم افزار کامسول,ولتاژ ی برابر3V اعمال شده است تا بتواند با سایر تجهیزات CMOS سازگاری داشته باشد. زمان تحریک سوئیچ 13.5µs می باشد و تلفات داخلی و ایزولاسیون در فرکانس 40GHZ بدست آمده است.

کلیدواژه ها:

سوئیچ فرکانس رادیویی ، ولتاژ ، موجبر ، پرتو شعاعی ، پرتو مستقیم