بررسی خواص اپتیکی فیلم های چند لایه اکسید تنگستن در ضخامت های مختلف

دراین پژوهش، پودر تری اکسید تنگستن (WO۳) به روش رسوب بخار فیزیکی به صورت تک مرحله ای به روی زیر لایه هایی از جنس لام آزمایشگاهی در ضخامت های ۲۰۰،۱۰۰،۲۰،۲ نانومتر در فشار پایه ی حدودا (۵-) ۱۰ تور لایه نشانی شدند. سپس مشخصه یابی لابه های سنتز شده با استفاده از طیف سنجی مرئی-فرابنفش و طیف سنجی فوتولومینسانس و همچنین XRD برای بررسی ساختاری فیلم های تولیدی صورت گرفت. تغییرات گاف نواری اپتیکی با ضخامت فیلم های تولیدی در این پژوهش گزارش شده است.

کلیدواژه ها:

تری اکسید تنگستن ، فیلم نازک ، طیف سنجی ، گاف نواری اپتیکی