اثر تنش های سطحی بر روی تحلیل ارتعاشات آزاد میکروتیرهای سیلیکونی و آلومینیومی

در این مقاله، یک مدل نظری بر اساس معادلات تیر اویلر-برنولی برای پیش بینی تغییر فرکانس تشدید به دلیل جذب سطحی ذرات بسیار کوچک بر روی میکرو تیرهای یک سر گیردار ارایه می گردد. در بیشتر تحقیق های انجام شده، از اثرات سطحی چشم پوشی شده است در حالی که این اثرات می تواند در مقیاس های کوچک، نقش زیادی در تغییر فرکانس تشدید و دقت حسگرهای شیمیایی و مکانیکی داشته باشد. این پژوهش به بررسی این موضوع در ابعاد بسیار کوچک و بر روی یک میکروتیر یک سر گیردار با در نظر گرفتن اثرات سطحی و برای جنس های مختلفی همچون سیلیکون و آلومینیوم می پردازد. نتایج به دست آمده می تواند در طراحی و تحلیل میکرو حسگرهای شیمیایی و مکانیکی بسیار مفید باشد.

کلیدواژه ها:

ارتعاشات ، میکروتیر ، اثرات سطحی ، سیلیکون ، آلومینیوم