اثر بازپخت بر عملکرد آشکارسازهای نوری نیمه رسانای MSM برمبنای نانوذرات InN

سال انتشار: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 537

فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

CMAES01_058

تاریخ نمایه سازی: 14 آذر 1395

چکیده مقاله:

آشکارسازهای نوری آیندیوم نیتراید با لایه نشانی نانوذرات ایندیوم نیتراید بر روی زیزلایه سیلیکونتوسط دستگاه کندوپاش الکترومغناطیس در دمای محیط و اتمسفری از ترکیبات مختلف گازی ساخته شدند. اتصال های فلزی نقره/ آلومینیوم توسط دستگاه تبخیر حرارتی در خلا Torr؛ (5-)10 در بالا و کف لایه نیمه رسانا ایجاد شد و سپس جهت از بین بردن استرس بین لایه ها و ایجاد ارتباط مطلوب بین فلزات و نیمه هادی عملیات بازیخت روی لایه ها صورت گرفت. عملیات بازپخت در دماهای 200-600 درجه سانتی گراد در اتمسفر نیتروژن صورت گرفت. تأثیرات بازپخت روی مشخصه های ساختاری واپتیکی InN بررسی شد. اندازه گیری های جریان- ولتاژ (I-V) بعد از بازپخت روی لایه ها انجام شد و تأثیر نور در عملکرد آشکارساز نوری InN بدست آمد.

کلیدواژه ها:

نویسندگان

سارا حشمتیان

استادیار - مرکز آموزش عالی فنی و مهندسی بوئین زهرا، گروه علوم مهندسی، بوئین زهرا، قزوین، ایران

مریم امیرحسینی

استادیار - مرکز آموزش عالی فنی و مهندسی بوئین زهرا، گروه علوم مهندسی، بوئین زهرا، قزوین، ایران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • Orton, J. and C. Foxon, Group III nitride Sem icon ...
  • Jan, S., et al, III-nitrides: Growth, ch aracterization, and properties. ...
  • McIntosh, F.G., et al, Epitaxial deposition of GaInN and InN ...
  • Takai, O., K. Ikuta, and Y. Inoue, Growth and nanostructure ...
  • Traior , J. and K. Rose, Some properties of InN ...
  • Guo, Q., O. Kato, and A. Yoshida, Thermal stability of ...
  • Lee, Y., et al, A comparative study of the electrical ...
  • نمایش کامل مراجع